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熱式氣體流量傳感器是基于流體傳熱學原理的一類傳感器，利用 MEMS 熱式原理對管路氣體介質進行流量監測。
流量芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成，熱偶堆對稱的分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結處于一個隔熱底座上。
當流體靜止時，加熱電阻兩側對稱位置的溫度是相同的，當流體從右向左流動時等溫線向左側傾斜，加熱電阻兩側對稱位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側的熱偶堆測定。由于流體的傳熱只與流體質量和流體的熱容有關，因此傳感器可以直接測出流體質量流量。
熱式氣體流量傳感器利用比較簡單的構造來準確地測量氣體的質量流量，具有結構簡單、壓損小、量程范圍寬等優點，在工業過程控制、醫療設備、便攜式儀器、環境監測設備等領域有著廣泛的應用。
在醫療設備中，流量傳感器是氣路系統的重要元件，醫院的病床供氧、樓層管道供氧以及呼吸機、制氧機、麻醉機等醫療設備中，為保證治療效果，需要精準控制氣體流量。
醫療設備的精準控制是關乎患者生命安全的大事，現代化的多傳感器融合技術也讓醫療過程有了可靠的解決方案。
流量是很多領域的一個重要參數，在工業控制和民用設施中，為了保證設備無故障檢測及檢測結果的可靠性，許多過程都需要氣體介質的流入和流出量保持一致，這就離不開流量傳感器的精準測量。
原子分光光度計、氣相色譜儀、氣密檢漏儀、風速計、粒子計數器等儀器儀表中，都會用到流量傳感器。
在環境治理研究中，需要氣體以流動形式參與反應，流動相反應過程中氣體始終處于流動狀態，因此實驗過程中也需要通過流量傳感器來精準調節氣體流量穩定參與反應。
隨著技術的發展，國內的氣體流量傳感器在結構、測量精度、靈敏度、穩定性、功耗、成本等方面都有了很大的提升，越來越能夠滿足不斷變化的市場需求。
煒盛科技自主研發的氣體流量傳感器于2012年即成功面世并取得相關專利，同時我們還參與起草了《JB/T 13111-2017 熱式質量流量傳感器》的行業標準。
如您有相關需求，歡迎咨詢大盛~
