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MEMS酒精氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率 較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)傳感器所處存在氣體環(huán)境中時(shí)，傳感器的電導(dǎo)率隨空氣中被檢測(cè)氣體的濃度而發(fā)生改變。該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度 相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。
0371-60932951手機(jī)/電腦等消費(fèi)類子產(chǎn)品應(yīng)用檢測(cè)所處場(chǎng)所的乙醇蒸汽、機(jī)動(dòng)車駕駛?cè)藛T及其他風(fēng)險(xiǎn)作業(yè)人員的酒后監(jiān)督
| 產(chǎn)品型號(hào) | GM-302B | ||
| 產(chǎn)品類型 | MEMS酒精氣體傳感器 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)封裝 | 陶瓷封裝 | ||
| 檢測(cè)氣體 | 乙醇蒸汽 | ||
| 檢測(cè)濃度 | 1ppm～500ppm | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)電路條件 | 回路電壓 | Vc | ≤24V DC |
| 加熱電壓 | VH | 2.5V±0.1V AC or DC | |
| 負(fù)載電阻 | RL | 可調(diào) | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件下氣敏元件特性 | 加熱電阻 | RH | 80Ω±20Ω（室溫） |
| 加熱功耗 | PH | ≤50mW | |
| 敏感體電阻 | Rs | 1KΩ～30KΩ(in 50ppm乙醇) | |
| 靈敏度 | S | Rs(in air)/Rs(in 50ppm乙醇)≥3.0 | |
| 濃度斜率 | α | ≤0.9(R200ppm/R50ppm乙醇) | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件 | 溫度、濕度 | 20℃±2℃；55%RH±5%RH | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試電路 | VH:2.5V±0.1V； Vc:5.0V±0.1V | ||
| 預(yù)熱時(shí)間 | 不少于48小時(shí) | ||
注：產(chǎn)品參數(shù)如有變動(dòng)，恕不另行通知
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