當前標簽:MEMS 二氧化氮傳感器GM-102B價格
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MEMS二氧化氮氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時傳感器電導率發(fā)生變化,該氣體的濃度越高,傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路